金融界2025年4月26日消息,国家知识产权局信息数据显示,信利(仁寿)高端显示科技有限公司申请一项名为“一种使用渐进式曝光机的新型掩膜制作的过程及系统”的专利,公开号CN119861525A,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本发明公开了一种使用渐进式曝光机的新型掩膜制作的过程及系统,方法有提供一种使用渐进式曝光机的新型掩膜制作系统,包括渐进式曝光机、主感光性间隔件及干涉感光性间隔件;渐进式曝光机通过主感光性间隔件向待曝光掩膜版的第一位置做全曝光,获取第一光刻胶图案;渐进式曝光机通过干涉感光性间隔件向待曝光掩膜版的第二位置做干涉曝光,获取与第一光刻机图案具有段差的第二光刻胶图案;将曝光后的掩膜版依次进行显影、蚀刻,得到具有段差的第一掩膜图案、第二掩膜图案,获取整体掩膜图案。利用产生的干涉光源获得不同掩膜图案的段差,解决了现存技术中的使用渐进式曝光机获取段差的掩膜制作的过程,制作成本高,制作周期长的问题。
天眼查资料显示,信利(仁寿)高端显示科技有限公司,成立于2017年,位于眉山市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本700000万人民币。通过天眼查大数据分析,信利(仁寿)高端显示科技有限公司参与招投标项目260次,专利信息390条,此外企业还拥有行政许可158个。